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제품소개

진공응용장치

  • 진공응용장치 - Media Device제조장치

    장치명 광 디스크용 스파터링 장치
    담당부서 Mechatronics 3Group
    장치설명 DVD-ROM, DVD±R등 광디스크용 스파터링 장치입니다. 또한 DVD-R DL,
    BLU-RAY에 대응한 새로운 개념의 스파터링 장치를 개발하고 있습니다.
  • 진공응용장치 - FPD용(유기EL, PDP)

    장치명 연구개발용 스퍼터링장치
    담당부서 Mechatronics 3Group
    장치설명 콤팩트하고 조작이 간단하며 풍부한 옵션을 갖춘 로드락식타입과 배치식타입의 스파터링장치입니다.
    연구개발에서 다품종 생산, 소량 생산까지 다양한 성막 용도로 사용 가능합니다.
  • 진공응용장치 - 전자부품용(자기헤드, 저장매체, 센서 등)

    장치명 EMI 차폐용 스파터링장치
    담당부서 Mechatronics 3Group
    장치설명 광학막 증착을 위한 최적의 설비, 저온에서 연속 다층 증착이 가능한 스파터링
    장치입니다.
    다품종 ,高생산성, 高균일성, 高품질 대응이 가능합니다.
  • 진공응용장치 - 전자부품용(자기헤드, 저장매체, 센서 등)

    장치명 대형배치식 증착장치
    담당부서 Mechatronics 3Group
    장치설명 전자기기등의 처리속도 고속화에 따라 전자파 방해 대책이 필수적이다.
    그 대책으로서 기기의 플라스틱 케이스에 금속막을 두껍게 진공증착해 붙이는
    방식이 있으며, 양산형 증착 장비 기술을 기반으로 개발된 전자파 차폐 가공용
    진공증착 장비입니다.
  • 진공응용장치 - 자동차 부품용(외장부품, 내장부품, 네비게이션 등)

    장치명 세라믹 기판용 스파터링장치
    담당부서 Mechatronics 3Group
    장치설명 매엽식 고속 스파터링 기술을 기반으로 개발한 다목적 스파터링 장치입니다.
    세라믹스 기판(방열용 서브마운트, LED/레이저용 등), 각종 센서 성막용
    생산장비로서 높은 생산성, 공간 및 에너지 절약, 간단한 유지보수가 가능한
    최적의 장비입니다.
  • 진공응용장치 - 자동차 부품용(외장부품, 내장부품, 네비게이션 등)

    장치명 밀리파 레이더용 스파터링장치
    담당부서 Mechatronics 3Group
    장치설명 매엽식 고속 스파터링 기술을 기반으로 개발한 다목적 스파터링 장치입니다.
    자동차용 엠플럼 성막용 생산장비로서 최적입니다.
    높은 생산성, 공간및 에너지 절약, 간단한 유지보수가 가능
  • 진공응용장치 - 자동차 부품용(외장부품, 내장부품, 네비게이션 등)

    장치명 램프 리플렉터용 스파터링장치
    담당부서 Mechatronics 3Group
    장치설명 진공에서 플라즈마 처리/스파터링/플라즈마 중합 1대의 장치로 구현이 가능한
    스파터링 장치입니다.
    자동차용 램프 리플렉트 생산장비로서 최적입니다.
    높은 생산성 , 입체 형상의 워크도 대응및 간단한 유지보수가 가능합니다.